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氣體傳感器的技術(shù)現(xiàn)狀與未來的MEMS解決方案

發(fā)布時(shí)間:2022-08-31 閱讀量:5884

關(guān)于氣態(tài)或揮發(fā)性污染物對(duì)健康影響的新知識(shí)層出不窮,它們不斷向人們強(qiáng)調(diào)著對(duì)室內(nèi)外空氣質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)測的必要性。許多揮發(fā)物即使是處于微量水平,在短時(shí)間暴露后,仍然會(huì)對(duì)人體健康有害。越來越多的消費(fèi)品和工業(yè)產(chǎn)品都可能排放已知有害的揮發(fā)物,包括家具、乘用車和工業(yè)卡車。人們對(duì)檢測氣態(tài)污染物的關(guān)注度不斷上升,希望通過建立相關(guān)有效的響應(yīng)機(jī)制降低或消除這種健康風(fēng)險(xiǎn)。



許多國家以及國際組織一直在致力于制定各種指南、法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn),以監(jiān)測工業(yè)、醫(yī)療、戶外、室內(nèi)辦公以及住宅環(huán)境中的空氣質(zhì)量。根據(jù)這些指南,制造商可以對(duì)其產(chǎn)品進(jìn)行檢測認(rèn)證,也可以讓用戶了解可最低限度接受的氣態(tài)污染物水平。室外大氣污染物主要由氮氧化合物、粉塵可吸入顆粒物、一氧化碳等組成。這些氣體均可使用氣體傳感器進(jìn)行監(jiān)測。室內(nèi)空氣中的揮發(fā)物則更加具體,它取決于是住宅還是辦公樓、人員數(shù)量、家具類型、通風(fēng)系統(tǒng)等因素。主要揮發(fā)物包括CO2、甲醛和苯。

ACD10二氧化碳傳感器

目前,監(jiān)測二氧化碳?xì)怏w的傳感器多是采用非分散紅外(NDIR)原理制成,利用氣體分子特有波長吸收光的特點(diǎn),測量二氧化碳濃度的光吸收率,進(jìn)而檢測出濃度。NDIR  co2傳感器的顯著優(yōu)點(diǎn)是使用壽命長、測量準(zhǔn)確度高。NDIR二氧化碳傳感器經(jīng)批量生產(chǎn),價(jià)格降低,市場需求量大增。

APM10-激光顆粒物檢測傳感器


關(guān)于粉塵顆粒物目前市場采用較多的是激光散射原理,即令激光照射在空氣中的懸浮顆粒物上產(chǎn)生散射,同時(shí)在某一特定角度收集散射光,得到散射光強(qiáng)隨時(shí)間變化的曲線。再通過米氏理論的算法,得出顆粒物的等效粒徑及單位體積內(nèi)不同粒徑的顆粒物數(shù)量。基于這種原理制作的傳感器測量精度較高,可嵌入到家用(車載、手持)空氣 檢測儀、空氣凈化器中。此外,激光原理傳感器在物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)采集、環(huán)境質(zhì)量檢測等領(lǐng)域亦有應(yīng)用。

隨著空氣凈化行業(yè)的發(fā)展,激光原理傳感器的造價(jià)在逐步降低,終端客戶對(duì)精準(zhǔn)測量空氣質(zhì)量的要求也越來越高。采用激光原理傳感器、精準(zhǔn)量化PM2.5質(zhì)量已是業(yè)內(nèi)公認(rèn)的趨勢。近年來已有部分空氣凈化器采用了激光原理傳感器。

目前,MEMS等新技術(shù)也越來越多地綜合利用傳感器硬件、集成氣體過濾器和軟件技術(shù),以提高性能,并達(dá)到可以與傳統(tǒng)分析儀器解決方案相媲美的性能水平。


奧松電子MEMS IDM 園區(qū)


最新的氣體傳感技術(shù)進(jìn)步使降低成本成為可能。例如,通常采用體硅工藝的 MEMS解決方案就有降低成本的可能性,盡管這些技術(shù)還不是目前使用的廣泛性氣體傳感器解決方案。此外,非氣體傳感器中的大多數(shù)MEMS平臺(tái)都集成了數(shù)字功能,這使其更容易被更大的傳感器網(wǎng)絡(luò)控制或集成,從而有可能為最終用戶降低這些傳感器的總擁有成本(TCO)。傳感器系統(tǒng)標(biāo)定是 MEMS和任何其他傳感器系統(tǒng)成本的重要組成部分,業(yè)界已將其確定為降低成本的關(guān)鍵步驟。

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