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產(chǎn)品中心

PRODUCTS

AS200B氣體質(zhì)量流量控制器
技術(shù)參數(shù)
流量規(guī)格(N2)

(100,200) SCCM

(0~3,5,10,20,30,50,100,200) SLM
準(zhǔn)確度

±1.0%S.P.(≥35%F.S.)

±0.35%F.S.(<35%F.S.)

線性 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間 1sec
最大工作壓力 0.45MPa
工作環(huán)境溫度 5~45℃
電源
+15~ +24 VDC (單極)
重量 約0.95Kg
正在更新中

一、產(chǎn)品簡介

AS200B系列氣體質(zhì)量流量控制器,采用鋁制底座,適用于多種常規(guī)氣體,提高了氣體質(zhì)量流量控制測量結(jié)果的準(zhǔn)確度及可靠性。重復(fù)精度高達(dá)±0.2%F.S.;1×10 -10 Pa·m3 /sec He的低泄露率,氣密性好,保障生產(chǎn)安全;可支持多種信號(hào)輸出,包括數(shù)字信號(hào)、1~5V 模擬信號(hào)以及4~20mA模擬信號(hào),可以使用單電源(+15~+24 VDC),適用于不同的工作場景;標(biāo)準(zhǔn)開放的通訊協(xié)議為客戶自行開發(fā)控制、采集軟件提供便利;同時(shí),產(chǎn)品還提供功能強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端上位機(jī)軟件,方便用戶調(diào)試操作。 AS200B系列產(chǎn)品是奧松電子采用先進(jìn)的MEMS技術(shù)研發(fā),在傳感器的驅(qū)動(dòng),零點(diǎn)漂移的控制和閥控等諸多方面都采用了獨(dú)特的技術(shù),保證了產(chǎn)品的高性能、高品質(zhì)和高可靠性,是一款穩(wěn)定性好、精度高、泄漏率低、耐壓高的優(yōu)質(zhì)儀器。


二、產(chǎn)品亮點(diǎn)

● 可同時(shí)支持?jǐn)?shù)字信號(hào),1~5V 或4~20mA模擬信號(hào)

● 使用單電源(+15~+24 VDC)

● 支持自動(dòng)故障報(bào)警,多氣體多量程等功能


三、應(yīng)用場景

AS200B系列氣體質(zhì)量流量控制器(MFC),主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密控制和測量。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括:集成電路工藝設(shè)備,如外延、擴(kuò)散、等離子刻蝕、濺射、離子注入和各種CVD等設(shè)備;其他行業(yè)設(shè)備,如光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細(xì)管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器等。


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