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產(chǎn)品中心

PRODUCTS

AGP21系列電容式薄膜真空規(guī)
當(dāng)前位置: 首頁 > 真空計
技術(shù)參數(shù)
工作溫度 5~+50℃
量程(Torr)

0~1、0~10、0~100、0~1000

精度

±0.3%讀數(shù)

輸出信號

RS485、0~10VDC

響應(yīng)時間

≤60ms

負載壓力

300KPa

電源電壓 15-30VDC
產(chǎn)品說明書下載

一、產(chǎn)品簡介

       AGP21 系列是一款高精度電容式薄膜真空規(guī),膜片因壓力變化而發(fā)生彈性偏移,偏移量的變化引起電容量的變化,最后由數(shù)字電路測量并轉(zhuǎn)換成輸出信號。AGP21 系列使用了 Inconel 材料,可耐受腐蝕性工藝介質(zhì),具有精度高、響應(yīng)時間快、長期穩(wěn)定等特點,滿足當(dāng)今關(guān)鍵工藝控制的應(yīng)用需求。AGP21 系列支持 Pa、Torr、mbar 三個常用單位的切換,配備了標(biāo)準(zhǔn)的 KF16 壓力接口,可根據(jù)需要選配不同的轉(zhuǎn)接件,確保與各種設(shè)備和系統(tǒng)的無縫對接。出廠前對 AGP21 系列的精度、重復(fù)性、響應(yīng)時間等指標(biāo)均進行嚴格的測試。


二、產(chǎn)品特點

? 高精度真空測量
? 性能長期穩(wěn)定可靠
? 卓越的抗腐蝕性能
? 標(biāo)準(zhǔn)Modbus RTU通信
? TFT-LCD彩屏顯示
? 0~10V線性電壓輸出

? 15~30VDC電源供電


三、應(yīng)用場景
AGP21系列應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、石化、真空滅菌、真空包裝、真空干燥等行業(yè),尤其適用于對低真空壓力測量要求至關(guān)重要的工藝過程,比如PECVD/ALD鍍膜工藝、等離子體刻蝕等工藝。



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